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ERC离子源
发布时间：2022/6/29 18:52:51　人气：2027
ERC离子源

ECR 离子源由于可以产生较高的离子束流和较长的寿命，近年来受到越来越多的应用。由于其优异的性能，ECR 离子源目前已在真空镀膜，半导体刻蚀，离子束加工，加速器等领域广泛应用。图片所示为我们自主设计的 ECR 离子源，该离子源在引出电压 为 40kV 时，可以产生束流强度达 100 mA 的质子束。
本公司可根据客户需求，提供各种类型的ECR离子源系统整体设计和定制服务。

ECR离子源参数指标：
离子束流大小：1mA-100mA；
可应用于加速器、半导体刻蚀、离子束加工等领域。
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