朗缪尔探针系统

发布时间：2022/6/25 2:19:13　人气：2509

作为一种具有极高时空分辨的介入式诊断，朗缪尔探针是等离子体测量中基础广泛的诊断设备。其主要作用在于可以实时测量等离子体的离子密度、电子温度、以及等离子体内部的电位和电场等信息。
本公司可根据客户需求，提供针对各种等离子体参数需求的郎缪尔探针系统整体设计和定制服务，包括但不限于：
1.简单或复杂结构的朗缪尔探针针体；
2.固定式/手动推进式/电动推进式朗缪尔探针真空动力结构；
3.探针系统真空支撑及信号真空穿透结构；
4.稳压直流/低频（<10kHz）扫描探针电源系统；
5.探针信号调理电路系统；
6.信号采集系统；
7.数据处理系统；
8.控制系统；

朗缪尔探针系统参数指标：
离子密度测量范围：10¹⁶/m³ ～ 10²⁰/m³
电子温度测量范围：0.1eV ～ 100eV
电位测量范围：-200V – 200V
空间分辨率：～2mm
时间分辨率：～10ms

适用等离子体环境：微波激发、阴极激发等各类型等离子环境；
适用气压范围：10^-5Pa ～10³Pa