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射频离子源
发布时间：2022/6/29 18:52:41　人气：2084
射频离子源

射频离子源用来产生离子束。由于相对成熟的技术和相对较低的价格，目前已在真空镀膜，半导体刻蚀，离子束加工等领域广泛应用。图片为自主设计的射频离子源，该离子源可以产生 5 mA 的质子束或者其它以气态形式存在物质的离子束。
本公司可根据客户需求，提供各种类型的射频离子源系统整体设计和定制服务。

射频离子源参数指标：
离子束流大小：1mA-100mA；
可应用于加速器、半导体刻蚀、离子束加工等领域。
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